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洲凯晶纯® UHP 316L VV（VIM+VAR）

生产符合SEMI F20的超纯UHP 316L VV

 

生产工艺路线： 美国康萨克真空感应炉VIM，美国康萨克电渣重熔炉ESR，德国ALD真空自耗炉VAR。 用以上特种熔炼设备熔炼。确保生产出高纯净的超纯UHP 316L 并且符合SEMI F20 国际标准 。最大程度去除杂质和气体。其硫(S)，磷(P)和锰(Mn)含量极低，不仅纯净度最高，而且专门防止了焊接时产生有害的“锰烟”，是半导体设备中直接处于高敏感环境部件的首选。

工艺反应腔室（Process Chambers）
包括CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）、刻蚀设备的腔体。由于焊接时锰烟会污染腔室环境，这类设备通常直接采用低锰的超纯UHP 316L VV 板材加工成型，从源头杜绝污染。
超高纯气体/化学品输送系统
（UHP Fluid Delivery Systems）
包含隔膜阀、调压阀、接头、VMB（阀门 Manifold箱）和气柜等。为满足耐腐蚀和低颗粒要求，其与工艺介质接触的部件（如阀体）多采用超纯UHP 316L VV并经过电解抛光（EP）处理。
关键真空部件与管道
如超高真空腔室、传输管道和内衬。为防止脱气或微小泄漏，需要使用夹杂物极少、完全无漏率的超纯UHP 316L VV EP无缝管。

洲凯晶纯® UHP316L VV 在半导体行业中的使用

福建洲凯新材料有限公司代表产品
高温合金类：
国标 美标 ASTM 德国标准 DIN 日本标准 JIS 英国标准 BS
GH4169 N07718 2.4668 NCF718 IN718
GH2132 A286 1.4980 SUH660 DTD5026
GH6600 N06600 2.4816 NGF600 NA14
GH3625 N06625 2.4856 NCF625 NA21
耐蚀合金类：
国标 美标 ASTM 德国标准 DIN 日本标准 JIS 英国标准 BS
H08810 N08810 1.4958 NCF800H NA15(H)
H08825 N08825 2.4858 NCF825 NA16
NS3105 N06690 2.4642 --- ---
NS143 N08020 2.4660 --- ---
GH605 N05500 2.4375 --- ---
GH617 N06617 2.4663 NW6617 ---
NS3308 N06022 2.4602 --- ---
NS3304 N10276 2.4819 NW0276 NC17D
超高强度钢：
国标 美标 ASTM 德国标准 DIN 日本标准 JIS 英国标准 BS
D406A --- --- --- ---
--- A100 --- --- ---
06Cr13Ni8Mo2Al S13800 1.4534 SUS1380 X5CrNiMoAl13-8-2
40CrNi2Si2MoVA 300M 1.6928 --- ---
40CrNiMOV 4340 1.6562 SNCM439 EN24
00Ni18Co8Mo5Ti   Al (F141) C250 --- --- ---
高温轴承钢：
国标 美标 ASTM 德国标准 DIN 日本标准 JIS 英国标准 BS
G102Cr18Mo S44004 1.4125 SUS440C X105CrMo17
8Cr4Mo4V M50 --- --- ---
G13Cr4Mo4Ni4V M50NiL --- --- ---